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直線電機動態(tài)計量應(yīng)用的關(guān)鍵技術(shù)考慮因素
發(fā)布時間:2018-10-25 作者來源:摩森機電 訪問次數(shù):3212

在世界各地,各種類型的計量應(yīng)用共同需要提高精度。計量學(xué)是測量的科學(xué)研究。計量應(yīng)用程序采用某種類型的測量來收集某些數(shù)據(jù)。生命科學(xué),半導(dǎo)體和電子制造等市場依靠計量儀器來確保其過程正確完成。當(dāng)您意識到樣品/產(chǎn)品可能非常?。慈梭w細(xì)胞)以及高度敏感(即觸摸屏電子)時,對精確度的需求將得到進(jìn)一步強調(diào)。擁有高精度的運動技術(shù)是確保應(yīng)用成功完成的關(guān)鍵。 

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計量應(yīng)用

下面列出了市場上的計量應(yīng)用的一些例子。許多應(yīng)用程序也可用于多個市場。例如,所有市場都會在其流程中使用某種類型的顯微鏡。

生命科學(xué)  

  • 顯微鏡

  • 光譜

  • DNA測序

半導(dǎo)體

  • 晶圓檢查

  • 光刻

  • 光學(xué)輪廓術(shù)

電子產(chǎn)品

  • 激光輪廓術(shù)

  • 非接觸式計量


計量應(yīng)用的類型

有不同類型的計量應(yīng)用,每個都有自己的關(guān)鍵考慮因素。這篇博客文章將重點關(guān)注動態(tài)計量。

  • 動態(tài)計量 - 在測量傳感器或被測單元運動時收集測量數(shù)據(jù)的應(yīng)用

  • 靜態(tài)計量 - 在測量傳感器和被測單元都處于穩(wěn)定位置時收集測量數(shù)據(jù)的應(yīng)用

  • 聚焦 - 一種特殊類型的靜態(tài)測量,其中軸(通常是垂直的)用于聚焦在樣品上進(jìn)行測量


動態(tài)計量

靜態(tài)計量需要良好的速度和輪廓控制,而動態(tài)應(yīng)用需要穩(wěn)定和穩(wěn)定性控制。動態(tài)計量應(yīng)用越來越多地與高科技市場中基于激光的光譜測定和應(yīng)用相關(guān)聯(lián)。半導(dǎo)體和電子制造業(yè)幾乎在所有工藝中都使用線掃描,而進(jìn)行高內(nèi)容通量細(xì)胞分析或DNA /基因測序的生命科學(xué)儀器也是動態(tài)的。精密激光切割也是一種動態(tài)應(yīng)用。由于執(zhí)行器在進(jìn)行測量時處于運動狀態(tài),因此關(guān)鍵規(guī)格與其運動性能有關(guān),包括:

 

  • 定位誤差通常根據(jù)定位精度和定位的可重復(fù)性來規(guī)定。這些錯誤的實際來源可能出現(xiàn)在三個子類別中 - 線性,阿貝(滾動,俯仰,偏航)和平面誤差。這些錯誤的來源各不相同,可能在生產(chǎn)過程中或應(yīng)用程序正在進(jìn)行時發(fā)生。例子包括偏轉(zhuǎn),摩擦,軸承和加工不一致以及反饋裝置。

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  • 速度控制與舞臺運動的速度和控制它的能力有關(guān)。當(dāng)與命令速度相比存在速度變化時,這被稱為速度波動。速度控制對于動態(tài)計量應(yīng)用至關(guān)重要,因為如果在整個應(yīng)用過程中速度變化,則無法始終獲得準(zhǔn)確且一致的結(jié)果。

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對于要求高精度和高速度的動態(tài)測量應(yīng)用而言,最佳執(zhí)行器選項是線性電機驅(qū)動級,特別是帶有無鐵心直線電機的級。由于線性馬達(dá)直接耦合到線性負(fù)載,因此與螺釘或皮帶驅(qū)動的致動器相比,齒隙,效率損失和其他位置不準(zhǔn)確性大大降低。而且,線性電動機通常具有較小的形狀因數(shù),總體上將改善剛度和位置誤差。最后,線性電機執(zhí)行器在整個應(yīng)用中可以最好地控制其速度。 


在保持合理的商業(yè)成本的同時,線性電機執(zhí)行器是唯一能夠滿足前面討論的動態(tài)計量應(yīng)用的關(guān)鍵規(guī)格的執(zhí)行器。為了證實這一點,派克使用激光干涉儀測量任何潛在的位置誤差。在測試之后,生成關(guān)于執(zhí)行器性能的報告,其始終顯示線性馬達(dá)致動器優(yōu)于具有其他傳動系機構(gòu)的致動器。 


派克計量應(yīng)用解決方案

線性電機執(zhí)行器的級穩(wěn)定性和速度控制對于成功的動態(tài)計量應(yīng)用至關(guān)重要。Parker在高科技精密市場擁有20多年的經(jīng)驗,提供專業(yè)知識和咨詢服務(wù),幫助儀器開發(fā)人員優(yōu)化設(shè)備和工藝的精確度。這些流程優(yōu)化將有助于持續(xù)降低客戶的總體支出,同時提高吞吐量。